info@afmhd.ru
контакты
 

Установка магнетронного напыления ЭТНА-М

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M

Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических  слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

  Установка магнетронного напыления ETNA-M        Технические параметры:

  • поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
  • расположение – лицом вниз;
  • максимальная температура нагрева – 350 ºС;
  • диаметр используемых мишеней – 76 мм;
  • мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
  • напряжение максимальное – 1000 В;
  • откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
  • количество газовых каналов – один с  максимальным расходом 20 см3/мин;
  • способ регулирования - электронный регулятор;
  • предельный вакуум – 10-6  торр;
  • управление –  автоматическое от ПК или ручное;
  • контроль давления – с использованием химически стойкого  мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
  •  рабочее давление в реакторе – порядка  0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;
  • инфраструктурные требования – сжатый воздух;
  • питание  - 220 В, не более 3 кВт;
  • масса не более 350 кг;
    Дополнительные возможности по требованию заказчика

  • ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;
  • питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;